特定排出者の事業活動に伴う温室効果ガスの排出量の算定に関する省令及び温室効果ガス算定排出量等の集計の方法等を定める省令の一部を改正する省令が平成27年4月30日に公布され、施行された。
＜三ふっ化窒素の排出量の算定に用いる係数等の追加＞
施行令の別表第13において省令で定めることとなっている、三ふっ化窒素の製造及び半導体素子等の製造における三ふっ化窒素の排出係数の値を、以下のとおり定める。
① 三ふっ化窒素の製造 0.017
② 半導体素子等の製造
半導体素子若しくは半導体集積回路の加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に際して、
- リモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いている場合 0.02
- リモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いていない場合 0.20
液晶デバイスの加工の工程におけるドライエッチング又はこの製造装置の洗浄に際して、
- リモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いている場合 0.03
- リモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いていない場合 0.30